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| • | | PID(Feed Back) 위치 제어 알고리즘 적용 |
| • | | 전자식 위치 제어를 통한 정밀도 향상 |
| • | | 반복정밀도(Repeatability) ±50μm이내 |
| • | | 정지시간(Settling Time) 1.0sec 이내 |
| • | | 밸브의 오리피스 다양화로 에어시스템의 적용범위가 넓음 |
| • | | 디스플레이를 통한 실시간 에어스프링 변위 확인 |
| • | | 터치형 디스플레이로 간편한 접근성 및 조작 |
| • | | 간단한 조작으로 센서 높이의 영점 조절 기능 |
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| • 컨트롤박스 | • 디스플레이 |
| • 근접센서 | • 커넥터 |
| • 전자 비례제어밸브 | • 댐퍼 내장형 에어스프링 |
| • 센서 거치대 | |
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| • | | 반도체, LCD, OLED, PCD의 제조 및 측정 장비와 같이
고속 X-Y 스테이지의 운동에 따른 지지
에어시스템의 정지시간(Settling Time)최소화, 진동 감소, 수평 유지 및 실시간 시스템 변위 모니터링 |
| • | | 초정밀 광학장비의 고효율 제진 및 에어시스템의 수평 유지 및 모니터링 |
| • | | 하중의 불평형이 큰 산업용 설비의 고효율 방진을 요하는 에어 시스템의 수평 유지 및 모니터링 |
| • | | 컨베이어 시스템 등 자동화 시스템의 하중 변화에 따른 에어시스템의 수평 유지 및 모니터링 |
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Model |
Load
(kgf) |
Pressure
(kgf/㎠) |
Displacement
(mm) |
Repeatability
(μm) |
Natural
Frequency
(Hz) |
Damping
Factor
(Kgf/cm/s)
[ξ=0.1~0.3] |
Dimension (mm) |
Weight
(kgf) |
L1 |
L2 |
H1 |
d |
PT |
ATERD-151 |
300~650 |
3~5 |
±4 |
±50 |
4.0~5.0 |
1.9~5.7 |
240 |
216 |
110 |
Ø10 |
M6 |
15 |
ATERD-181 |
500~850 |
3~5 |
±4 |
±50 |
3.4~3.8 |
2~6 |
280 |
250 |
163 |
Ø12 |
M6 |
23 |
ATERD-241 |
1,000~2,000 |
3~5 |
±4 |
±50 |
3.2~3.5 |
3~9 |
380 |
340 |
144 |
Ø18 |
1/8" |
37 |
ATERD-281 |
1,800~3,000 |
3~5 |
±4 |
±50 |
2.8~3.2 |
6~18 |
440 |
400 |
146 |
Ø18 |
1/8" |
60 |
ATERD-341 |
2,500~5,000 |
3~5 |
±4 |
±50 |
2.2~2.8 |
8~24 |
490 |
450 |
150 |
Ø18 |
1/8" |
76 |
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Model |
디스플레이
(in) |
터치 사양 |
픽셀 |
Time Wave
(mm) |
전력 용량
(W) |
Dimension (mm) |
Weight
(kgf) |
L1 |
L2 |
H1 |
ATMS-007 |
7 |
감압식/정전식 |
800*480 |
±4 |
150 |
150 |
260 |
200 |
2 |
ATMS-010 |
10.1 |
감압식/정전식 |
1024*600 |
±4 |
150 |
150 |
300 |
200 |
3 |
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Model |
최대 유량
[0.6Mpa]
(L/min) |
압력 범위
(Mpa) |
응답 시간
(sec) |
센서 분해능
(μm) |
Dimension (mm) |
Weight
(Kgf/Set) |
L1 |
L2 |
H |
L3 |
D |
ATEV |
210~1,200 |
0.05~0.65 |
0.03 이하 |
2.5 |
122 |
64 |
57.4 |
36 |
Ø18 |
1.5 |
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| • |
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전자 비례제어밸브에 공급하는 기체는 건조 공기(Dry Air), 질소 등 깨끗한 압축기체의 사용을 권장하며, 압축기체 내의 이물질, 습기 등으로 인하여 밸브의 정밀도가 떨어질 수 있음 |
| • |
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바닥의 평탄도 및 설치면의 높낮이 0.3mm 이내 |
| • |
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경사면의 기울기 1/1000 이내 |
| • |
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극단적으로 무게 중심이 높거나 편중심의 경우에는 사용이 불가능한 경우가 있어 상세한 내용은 당사 기술관계자와 협의가 필요함 |
| • |
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전자 비례제어밸브 설치 위치, 수량에 따라 전체 에어시스템의 반복정밀도(Repeatability)와 정지시간(Settling Time)에 영향이 있으므로 당사 기술 관계자와 협의 필요 |
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Note. |
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1. 에어시스템에 임의의 반복하중을 가한 후 시스템 높이 정확도를 반복정밀도(Repeatability)라고 정의함. |
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2. 시스템의 안정화 시간(초기 변위의 90% 감소 시간 혹은 20μm까지 감소 시간)을 정지시간(Settling Time)이라 정의함. |
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